一、大會名稱

2021中國MEMS制造大會暨微納制造與傳感器展覽會

同期舉辦：第二屆中國MEMS創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽

二、主辦、承辦單位

指導(dǎo)單位：

中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會?

中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會MEMS分會

主辦單位：

中國科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所

蘇州納米科技發(fā)展有限公司

承辦單位：

MEMSRIGHT

江蘇省納米加工公共服務(wù)平臺

蘇州市集成微系統(tǒng)封裝平臺

蘇州敏芯微電子技術(shù)股份有限公司

三、大會簡介

在中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會和中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會MEMS分會的共同指導(dǎo)下，蘇州納米科技發(fā)展有限公司聯(lián)合江蘇省納米技術(shù)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新中心、MEMSRIGHT、中科院納米所微納加工平臺與集成微系統(tǒng)封裝平臺、敏芯微電子等國內(nèi)外MEMS代工廠、平臺與機(jī)構(gòu)等，在蘇州定期舉辦China?MEMS中國MEMS制造大會，旨在匯聚全球MEMS制造產(chǎn)業(yè)資源，打造MEMS領(lǐng)域品牌會議，加強(qiáng)MEMS設(shè)計、研發(fā)、加工制造、封裝測試等全產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動關(guān)系，促進(jìn)以MEMS制造為主線的產(chǎn)業(yè)資源垂直整合，推動我國MEMS產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的人才集聚、技術(shù)創(chuàng)新、成果轉(zhuǎn)化，加速突破我國MEMS制造領(lǐng)域發(fā)展瓶頸。??

2021年第三屆中國MEMS制造大會將在2020基礎(chǔ)上推陳出新、力求突破，擬安排為：

（一）?首次設(shè)置分論壇、加強(qiáng)會議專業(yè)性

MEMS射頻器件、紅外傳感器成為近年來迅速發(fā)展的明星產(chǎn)品。為促成這兩個重點(diǎn)細(xì)分領(lǐng)域前沿技術(shù)和市場前景交流、精準(zhǔn)促進(jìn)該領(lǐng)域發(fā)展，2021中國MEMS制造大會將首次開設(shè)“中國MEMS制造大會射頻分會場”、“中國MEMS制造大會顯示分會場”。兩場分會場擬設(shè)置在10月29日9：00-17:30。

射頻分會場擬邀單位為：?Broadcom、瑞聲科技、河北美泰、中電13所、中電55所、漢天下、時代民芯、希美微納、左藍(lán)微電子等。

顯示分會場擬邀單位為：紅外傳感器廠家煙臺睿創(chuàng)、武漢高德紅外、浙江大立、上海巨哥，紅外傳感器代工廠華潤上華；微鏡廠家：TI、MicroVision、無錫微奧等。

（二）會議氛圍再活躍、嘉賓質(zhì)量再提升、會議規(guī)模再擴(kuò)大

2021中國MEMS制造大會將繼續(xù)提升大會整體質(zhì)量，將持續(xù)邀請行業(yè)一流企業(yè)事業(yè)單位進(jìn)行演講。2019大會邀請SMEC副總裁劉煊杰，2020大會邀請中科院院士鄭泉水、華登國際合伙人王林等，均成為大會亮點(diǎn)。2021大會將繼續(xù)聯(lián)絡(luò)中國乃至世界MEMS產(chǎn)業(yè)專家前來演講分享，新增擬邀演講單位為：臺積電、APM、X-FAB、Yole、TI、ST、Broadcom、高德紅外、浙江大立、長電科技等。

因新設(shè)兩個分論壇，2021大會嘉賓數(shù)量將突破40人。2021中國MEMS制造大會將繼續(xù)保持MEMS行業(yè)最大規(guī)模、最高水平的會議規(guī)格。

四、大會主題

（一）MEMS全球市場與產(chǎn)業(yè)鏈布局?

（二）MEMS全球晶圓代工產(chǎn)業(yè)格局和發(fā)展趨勢?

（三）MEMS先進(jìn)晶圓封裝測試市場發(fā)展方向?

（四）MEMS在智能終端的應(yīng)用前景與發(fā)展方向?

（五）MEMS射頻、顯示器件的技術(shù)和市場狀況?

（六）MEMS激光雷達(dá)器件工藝與市場狀況?

（七）MEMS?3D顯示器件工藝與市場狀況?

（八）MEMS紅外成像技術(shù)與應(yīng)用?

（九）MEMS新材料技術(shù)與工藝

五、往屆回顧

China MEMS 2020 中國MEMS制造大會演講嘉賓35人，嘉賓來自SMEC、Selix、中科院、華潤微、Bosch、愛發(fā)科、中電55所、賽迪顧問、罕王微電子等行業(yè)重點(diǎn)企業(yè)，現(xiàn)場參會觀眾達(dá)480多人。?

同期，蘇州納米科技發(fā)展有限公司首次舉辦2020中國MEMS創(chuàng)業(yè)大賽，21家入圍企業(yè)進(jìn)行了現(xiàn)場路演，現(xiàn)場觀眾達(dá)200多人。

大賽評選出“中國MEMS產(chǎn)業(yè)最具投資價值獎”一二三等獎、“中國MEMS產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新產(chǎn)品獎”一二三等獎，鼓勵優(yōu)秀企業(yè)、產(chǎn)品脫穎而出。

六、本屆亮點(diǎn)

（一）匯聚全球MEMS制造全產(chǎn)業(yè)鏈 ，silex、SMEC、Bosch、MEMSRIGHT、華潤微電子、士蘭微、天水華天、蘇州晶方、中國電子55所等全球一流MEMS制造企業(yè)

（二）“中國MEMS創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)大賽”第二屆舉辦（突出產(chǎn)品創(chuàng)新、設(shè)計創(chuàng)新、理念創(chuàng)新等特點(diǎn)）

（三）新增設(shè)MEMS制造分論壇（兩場分論壇的增加突顯大會緊跟MEMS制造發(fā)展方向。欲通過大會增加同行業(yè)內(nèi)交流，描繪下一年走向趨勢）?

七、展覽范圍

MEMS 器件

?光學(xué)MEMS；射頻MEMS ；MEMS物理傳感器 (加速傳感器，速率傳感器，壓力傳感器，氣體傳感器，溫度傳感器)；微 射流（微流引導(dǎo)，微感應(yīng)器等）；MEMS執(zhí)行器；MEMS電能（燃料電池，微發(fā)電機(jī)等）；高復(fù)合型MEMS (CMOS/MEMS, LSI/MEMS 一體化)。

MEMS 代工服務(wù)

?仿真設(shè)計、原型測試、產(chǎn)品開發(fā)、量產(chǎn)；其他代工服務(wù)：圖案形成、薄膜形成、雷射、離子脈沖加工、噴鍍。

MEMS 應(yīng)用

超微型機(jī)械人裝置、微型工廠等；傳感器網(wǎng)絡(luò)；能量收集。

MEMS 加工設(shè)備

?薄膜成形（汽相淀積、濺射、CVD、覆鍍；曝光系統(tǒng)、蝕刻技術(shù)；防腐處理；刻蝕；晶圓鍵合；切割；芯片/導(dǎo)線焊接；封裝；微成形 (注射, 熱壓)；其他生產(chǎn)設(shè)備 。

分析與檢測儀器

光罩缺陷檢測、封裝檢測、表面分析儀器、粗糙度儀、掃描電子顯微鏡、薄膜厚度測量系統(tǒng)；顯微鏡：光學(xué)顯微鏡、電子顯微鏡、探針顯微鏡、電子能譜儀；檢漏儀器、靜電負(fù)離子空氣凈化機(jī)；氣體分析及檢測、分析和測量系統(tǒng)。

納米機(jī)械微制程技術(shù)

超精度納米機(jī)械工藝；超精密加工, 微制造；表面微加工；精細(xì)鉆孔；微觀切割；雷射、離子脈沖加工；聚焦離子束系統(tǒng)；微放電加工；超聲波設(shè)備等。

納米壓印技術(shù)

微納米模型；納米壓印生產(chǎn)設(shè)備。

生物技術(shù)與醫(yī)療應(yīng)用

MEMS 在醫(yī)療處理及診斷方面的應(yīng)用、DDS、納米膠囊；尖端DNA & RNA 技術(shù)、微反應(yīng)器、微流引導(dǎo)、生物/化學(xué)MEMS（DNA/RNA技術(shù)，化學(xué)檢測）等。