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由SEMICON China主辦的2017中國國際半導體技術(shù)大會(CSTIC)于2017-03-12在上海國際會議中心舉辦。
朱志敏,物理博士,電子科學博士;任職于布魯爾科技有限公司的羅拉? 研發(fā)部??煽康腂ARC系統(tǒng)為浸沒光刻中的各種基板提供最佳解決方案、鑄造效率通過普通光刻主題、硅BARC分析的高分辨率缺陷計量、碳/硬掩模相互作用對硬掩模性能的影響、22-nm節(jié)點的薄硬掩模圖案堆疊等研究文章。
朱志敏出席會議日程
由SEMICON China主辦的2017中國國際半導體技術(shù)大會(CSTIC)于2017-03-12在上海國際會議中心舉辦。