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      首頁>演講嘉賓> 朱志敏更新時間:2017-03-12

      朱志敏

      朱志敏,物理博士,電子科學博士;任職于布魯爾科技有限公司的羅拉? 研發(fā)部??煽康腂ARC系統(tǒng)為浸沒光刻中的各種基板提供最佳解決方案、鑄造效率通過普通光刻主題、硅BARC分析的高分辨率缺陷計量、碳/硬掩模相互作用對硬掩模性能的影響、22-nm節(jié)點的薄硬掩模圖案堆疊等研究文章。

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